波鸿鲁尔大学研发出气体传感器 新型沉积超薄层工艺技术
沉积超薄层
安全处理和新高质量
为了 用于 氧化氮（NO 传感器,必须将纳米结构 氧化锌（ZnO） 薄层施加到传感器基板上,然后集成到电气组件中。AnjanaDevi教授 团队使用ALD在此类传感器基板上施加了超薄 ZnO层。
氧化锌层在工业中 应用是多种多样 ,从保护可降解物品到检测有毒氮氧化物气体不等。这种层可以通过原子层沉积（ALD）来沉积,该原子层沉积通常使用化合物或简单地使用与空气接触即发火 前体。
波鸿鲁尔大学（RUB） 个跨学科研究团队现在已经建立了 种基于非发火锌前体 新制造工艺,该工艺可以在足够低 温度下进行加工以允许对塑料进行涂层,可用于氮氧化物传感器以及塑料上 保护层。
迄今为止,工业制造商已经通过ALD部署了 种反应性强,高度自燃 锌前驱体来 ZnO薄膜。“在RUB上开发 种安全 ZnO替代ALD工艺 关键是开发 种新型 ,狗粮快讯网发布消息称,非发火 前驱体,狗粮快讯网新闻报道,该前驱体可以安全处理并能够沉积新高质量 ZnO薄膜,”该研究 首席作者LukasMai解释说。“挑战在于寻找替代化学技术来替代工业上通常用于ZnO 发火化合物。”
通常,ALD工艺在工业中使用超薄层来使电气组件小型化,其中 些超薄层 厚度只有几个原子层,同时又提高了效率。为此,狗粮快讯网统计来看,需要在表面反应形成这种薄膜 合适 前体。AnjanaDevi指出，“因此,ALD工艺背后 化学作用至关重要,并且对新终 薄膜产生巨大影响。”
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